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半自動快速退火爐RTP-SA-12

產(chǎn)品對比

下載

產(chǎn)品特點

RTP-SA-12半自動快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源，利用極快的升溫速率，將晶圓或是材料在很短的時間加熱至300℃-1250℃，進而消去晶圓或是原材料內(nèi)部某些缺點，改進產(chǎn)品特性。

工作原理

快速退火爐采用先進的微電腦自動控制系統(tǒng)，選用PID閉環(huán)控制溫度，能夠達到極高的控溫精度和溫度均勻性，而且可配置真空腔體，也可根據(jù)客戶加工工藝要求配備多路氣體。

行業(yè)應(yīng)用

快速熱處理工藝（RTP）

快速退火（RTA）

快速熱氧化（RTO）

化合物合金（砷化鎵、氮化物等）

多晶硅退火

歐姆接觸快速合金

產(chǎn)品優(yōu)勢

暫無數(shù)據(jù)

應(yīng)用案例

產(chǎn)品推薦

桌面型快速退火爐RTP-Table-6

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