等離子體概念：
對(duì)于物質(zhì)的存在，生活中感知最多的三種狀態(tài)：固體、液體、氣體。第四種狀態(tài)：等離子體。等離子體又名：電漿 ，英文：PLASMA 。
定義1：其形成是由部分電子被剝奪后的原子及原子團(tuán)被電離后產(chǎn)生的正、負(fù)離子，從而組成得離子化氣體狀物質(zhì)；尺度大于德拜長(zhǎng)度的宏觀電中性電離氣體，其運(yùn)動(dòng)主要受電磁力支配，并表現(xiàn)出顯著的集體行為。
定義2：等離子體是帶電粒子和中性粒子組成的表現(xiàn)出集體行為的一種準(zhǔn)中性氣體。
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕、涂覆等目的。