等離子是什么?
等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，是不同于固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)的電離態(tài)物質(zhì)，由自由電子、離子和中性粒子組成的宏觀電中性混合體。當外界向氣體施加足夠能量時，氣體分子或原子會發(fā)生電離，從而形成等離子體。這種能量可以來自多種形式，包括：高溫、強電場、電磁輻射（如紫外線、X射線）、激光或粒子轟擊， 這些能量使氣體部分或完全電離，最終形成等離子體狀態(tài)。
等離子表面處理的作用原理
等離子表面處理應用廣泛，涵蓋多個重要領(lǐng)域，包括：工業(yè)制造與材料的處理、能源、醫(yī)療與生物技術(shù)、環(huán)保，消費電子等多個領(lǐng)域。
主要通過以下兩種機制改變材料表面特性：
1. 化學反應：等離子中的活性成分（如自由電子、離子、激發(fā)態(tài)原子或分子及活性自由基）與材料表面發(fā)生化學反應，將其分解為揮發(fā)物質(zhì)，從而改善材料的表面性能；
2. 物理轟擊：高能離子通過動量傳遞轟擊表面，產(chǎn)生物理濺射效應，使親水材料增加材料表面粗糙度，提高表面潤濕性，疏水材料反之。
通過化學與物理作用的協(xié)同效應，等離子表面處理能精準調(diào)控材料表面特性，滿足不同行業(yè)的應用需求。
等離子表面處理的分類
根據(jù)離子體的工作氣壓環(huán)境可以分為兩類：
1. 常壓等離子清洗：在高壓電場的作用下，工業(yè)氣體電離成等離子體，經(jīng)噴嘴噴射至產(chǎn)品表面，從而達到清洗活化的目的。(如下原理圖所示)
原理圖 大氣射流等離子清洗機
2. 真空等離子清洗（低壓）：在真空腔體內(nèi)，氣體在高壓條件下電離成活性等離子體，通過化學反應和高能粒子轟擊，實現(xiàn)表面清洗，活化，刻蝕，去膠等目的。（如下原理圖所示）
原理圖 真空等離子清洗機
傳統(tǒng)表面處理存在問題：
1. 純化學清洗（溶劑）
作用于表面分子層，廢液難以處理，可能腐蝕敏感材料；
工人長期接觸易導致呼吸道疾病；
溶劑易殘留微米級油膜，影響后續(xù)鍍膜/鍵合（如PCB板焊接不良率升高15%）；
2. 純物理清洗（噴砂）
作用于宏觀的粗糙化，會有粉塵污染，硬質(zhì)的材料受限；
精度局限，最小處理尺度約10μm，無法滿足納米級清潔需求（如MEMS器件）；
3. 高溫熱處理（焚燒，解熱）
耗能高，材料容易變形，有氧化風險
晟鼎等離子表面處理的優(yōu)勢：
1. 較高的清潔精度：納米級精準控制，可去除表面單分子層污染物
2. 無損傷低溫處理，對敏感材料友好（如下圖：晟鼎大氣射頻寬幅等離子溫度＜50°）
3. 環(huán)保與安全，無化學溶劑的污染且無有害物質(zhì)的產(chǎn)生
4. 工藝的可控性較高，參數(shù)能夠精準調(diào)節(jié)
5. 多功能集成，能夠配備到生產(chǎn)線上，減少操作移動步驟，提高效率
6. 處理復雜結(jié)構(gòu)材料的能力強
7. 經(jīng)濟成本效益高