在IGBT模塊的封裝工藝中，芯片貼裝是決定模塊最終性能與可靠性的核心環(huán)節(jié)之一。而貼裝的成功與否，極大程度上取決于貼裝前基板（如DBC陶瓷基板）和金屬框架（如銅框架）的表面狀態(tài)。在這一預(yù)備階段，表面的微觀清潔度與活化程度是重中之重，任何疏忽都可能導(dǎo)致后續(xù)的界面缺陷。以等離子體清洗技術(shù)為代表的先進(jìn)表面處理方案，正是攻克這一挑戰(zhàn)的關(guān)鍵。
表面污染物的隱患：貼裝質(zhì)量的“隱形殺手”
在進(jìn)入貼裝工序前，基板與框架表面看似潔凈，實(shí)則可能吸附著多種微觀污染物：
1、有機(jī)污染物
有機(jī)污染物會(huì)形成弱界面層，嚴(yán)重削弱焊料或燒結(jié)銀膏的潤濕鋪展能力，導(dǎo)致虛焊、空洞率增高，并直接影響界面的熱導(dǎo)率和機(jī)械結(jié)合強(qiáng)度。
2、氧化層
金屬框架（尤其是銅材）表面在大氣環(huán)境中會(huì)自然生成氧化層。這層氧化物會(huì)阻礙金屬與焊料之間形成有效的冶金結(jié)合，是影響焊接可靠性的主要障礙。
3、微顆粒粉塵
空氣中的塵埃落在表面，會(huì)在貼裝時(shí)造成局部間隙，成為熱管理和電連接的薄弱點(diǎn)。
這些污染物若不清除，將直接導(dǎo)致芯片與基板、基板與框架之間的界面熱阻增加、導(dǎo)電性能下降、機(jī)械附著力不足，長期運(yùn)行下易引發(fā)熱疲勞失效、脫層甚至燒毀，嚴(yán)重威脅IGBT模塊的壽命與穩(wěn)定性。
等離子體清洗：高效、精準(zhǔn)的表面處理方案
針對上述問題，傳統(tǒng)的濕法化學(xué)清洗或機(jī)械擦拭方法存在清潔不徹底、損傷表面、引入化學(xué)殘留、環(huán)保壓力大等局限。而晟鼎提供的等離子體清洗技術(shù)，提供了一種干式、高效、環(huán)保的解決方案。其核心在于利用電能將工藝氣體（如氬氣、氧氣、氫氣或它們的混合氣）激發(fā)成高活性的等離子體態(tài)。
等離子體對基板與框架表面的處理主要通過兩種機(jī)制實(shí)現(xiàn)：
物理轟擊
在高能等離子體中，被電場加速的離子和電子等粒子以一定動(dòng)能轟擊材料表面，能夠有效地濺射剝離掉微觀顆粒和部分頑固污染物。
化學(xué)反應(yīng)
活性粒子（如氧等離子體中的氧自由基）能與表面的有機(jī)污染物發(fā)生氧化反應(yīng)，將其分解為可揮發(fā)性的水、二氧化碳等氣體被真空系統(tǒng)抽走；而氫等離子體則能有效地還原金屬表面的氧化物，恢復(fù)金屬的潔凈活性表面。
實(shí)施等離子清洗的關(guān)鍵工藝考量
在IGBT封裝中應(yīng)用等離子體清洗技術(shù)，需重點(diǎn)關(guān)注以下幾個(gè)方面：
1、工藝氣體選擇
通常采用氬氧混合氣或分步處理。氧氣能高效去除有機(jī)污染物；氬氣通過物理轟擊增強(qiáng)清洗效果并有助于均勻化；對于需去除銅氧化層又不希望過度氧化的場景，可采用氬氫混合氣進(jìn)行還原處理。
2、工藝參數(shù)優(yōu)化
射頻功率、腔室壓力、氣體流量和處理時(shí)間是關(guān)鍵參數(shù)。參數(shù)設(shè)置需在達(dá)到最佳清洗效果與避免對材料表面（特別是陶瓷基板的金屬化層）的損傷。晟鼎等公司的設(shè)備通常提供穩(wěn)定且可精確控制的等離子體環(huán)境。
3、均勻性與一致性：確保大型基板或框架托盤上所有位置的清洗效果均勻至關(guān)重要，這依賴于優(yōu)化的電極設(shè)計(jì)和等離子體源技術(shù)。
清洗效果的驗(yàn)證
清洗效果不能僅憑經(jīng)驗(yàn)判斷，需要通過科學(xué)的檢測手段進(jìn)行驗(yàn)證：
接觸角測量
清洗后，水滴在表面的接觸角顯著減小（通常可從清洗前的幾十度降至10度以下），是表面能提高、潤濕性改善的直觀證據(jù)。
掃描電子顯微鏡/能譜分析
用于觀察表面形貌并分析元素組成，確認(rèn)污染物是否被有效去除。
后續(xù)工藝良率與可靠性測試
最終，需要通過觀察焊料或銀膏的鋪展面積、空洞率，以及進(jìn)行熱循環(huán)、功率循環(huán)等可靠性測試，來綜合評估清洗工藝的有效性。
在IGBT模塊封裝中，芯片貼裝前的基板與框架表面處理絕非可忽略的次要步驟，而是構(gòu)筑高可靠、長壽命模塊的基石。以晟鼎為代表的等離子體清洗技術(shù)，以其非接觸、無殘留、高效環(huán)保且能顯著提升界面結(jié)合質(zhì)量的特性，已成為現(xiàn)代高端IGBT封裝產(chǎn)線中不可或缺的標(biāo)準(zhǔn)工藝。通過精準(zhǔn)的工藝控制，它能有效去除微觀污染物和氧化層，為后續(xù)的芯片貼裝、焊接或燒結(jié)工藝創(chuàng)造近乎完美的界面條件，從而為IGBT模塊卓越的電氣性能、優(yōu)異的熱管理能力和長久的工作壽命提供堅(jiān)實(shí)保障。