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首頁/產(chǎn)品中心/微波等離子清洗機/ICP干法等離子去膠機

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ICP干法等離子去膠機ST-3100

產(chǎn)品對比

下載

產(chǎn)品特點

兼容4-8寸晶圓；
單次可處理兩片晶圓，處理過程保持較低溫度；
全自動程度高，實現(xiàn)全自動晶圓上下料、清洗流程；
等離子密度高，去膠效果好

產(chǎn)品概述
規(guī)格參數(shù)
硬件選配

配件類型

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