- 產(chǎn)品概述
- 規(guī)格參數(shù)
- 硬件選配
SPV-24M微波在線片式真空等離子清洗機是一款針對半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計的MW PLASMA處理及性能檢測整體解決方案的設(shè)備，是實現(xiàn)清潔、活化、除膠、刻蝕功效的理想選擇。
工作原理
微波等離子清洗是用等離子體通過化學或物理作用對工件表面進行分子水平處理，去除沾污，改善表面性能的工藝過程。對應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝。當腔內(nèi)壓力為動態(tài)平衡時，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場將氬氣、氧氣、 氮氣、氫氣等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊與化學氧化還原反應(yīng)。
微波等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為四大組成部分：控制系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、金屬空心導(dǎo)管。
行業(yè)專用方案
半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用
芯片粘接前處理：去除材料表面污染物，增加表面潤濕性能，提升膠體流動性，保證與其他材料的結(jié)合能?。
塑封前處理：去除材料表面污染物，使芯片表面與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與氣泡等不良的產(chǎn)?。
金屬鍵合前處理：去除金屬焊盤上的有機污染物，提高焊接工藝的強度和可靠性。
光刻膠去除：去除殘留的光刻膠及其他有機物，活化和粗化晶圓表?，提?晶圓表?潤濕性能。
設(shè)備參數(shù)
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設(shè)備尺寸
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2308*1360*2064mm（長*寬*高）
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微波電源
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雙微波電源2000W
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容積
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約24L
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清洗產(chǎn)品范圍
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80-280mm*25-90mm（長*寬）
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料盒尺寸范圍
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180-290mm*28-93mm*200mm（長*寬*高）
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真空泵
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干泵
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氣路配置
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標配氧氣、氬氣兩路工藝氣體（可定制CF4氣體）
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系統(tǒng)控制
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工控系統(tǒng)
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2.png "微波等離子清洗機原理")
