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SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機(jī)

國內(nèi)首臺800mm超長處理寬度，單位面積處理時間提升3倍

線性等離子發(fā)生裝置適用于各種狹窄空間，可根據(jù)產(chǎn)品的寬度進(jìn)行定制，實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)作業(yè)

采用晟鼎專利中頻數(shù)字電源，確保等離子體均勻，處理過程穩(wěn)定

專門針對半導(dǎo)體行業(yè)的微波在線片式真空等離子清洗機(jī)，針對半導(dǎo)體芯?粘接前處理、塑封前處理、光刻膠去除、?屬鍵合前處理。等離子體不帶電，不對精密電路造成損害，采用磁約束方式，可兼容微波結(jié)和磁路。

自由基分子的等離子體無偏壓，不會對產(chǎn)品有電性損壞，去膠速率高

快速有效清除產(chǎn)品表面浮沉顆粒，3um塵粒97%的清除率，6um塵粒98%的清除率

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