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SPV-100真空等離子清洗機

產(chǎn)品對比

下載

產(chǎn)品手冊.pdf 下載

產(chǎn)品特點

軍工級的焊接工藝，腔體密封性強，高密度等離子源，保證全方位均勻清洗；
一鍵啟動，精確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù)；
45℃超低清洗溫度，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果；
雙路或多路工藝氣體，氣體控制穩(wěn)定；
單次可處理多片/批次材料，更可根據(jù)材料、產(chǎn)能進行定制；

產(chǎn)品概述
規(guī)格參數(shù)
硬件選配

配件類型

晟鼎自主研發(fā)—國產(chǎn)中頻電源

頻率40KHz,功率2000W

晟鼎專屬定制—國產(chǎn)射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~1000W

美國CERES—進口射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可選

進口中頻電源

頻率40KHz，功率2000W

橫電極腔體

應用于芯片、攝像頭模組、PCB/FPC、晶圓等產(chǎn)品表面處理

豎電極腔體

應用于LED行業(yè)，適用于各種類型產(chǎn)品治具或結(jié)構(gòu)

泵組

油泵

羅茨泵

干泵

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外形尺寸	90017501000mm（寬高深）
重量	500KG
設備外觀顏色	銀灰色

腔體內(nèi)部尺寸	450450500mm（寬高深）
厚度	25mm
材質(zhì)	鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
密封性	軍工級焊接密封
電極板有效尺寸	322351mm（寬深）
可用空間間距	22.5mm
工作空間	8層
工作托盤	標配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)）
電極板布置方式	水平布置，可活動抽取
雙級旋片泵（油泵）	60m³/h
真空管路	全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管

流量范圍	0~300SCCM
工藝氣體氣路	標配氣路，可定制

系統(tǒng)控制	PLC
交互方式	7寸觸控屏幕

EN

SPV-100真空等離子清洗機

可適應不同尺寸

電極空間擴展

密封性卓越的真空腔體設計

智能化程序化控制

超低清洗溫度

專利放電技術(shù)

一鍵安全保障

多路氣體控制

多種配件搭配

自動化定制方案

SPV-60真空等離子清洗機

專為面積較大、形狀復雜的材料進行表面改性處理，是實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇

SPV-150真空等離子清洗機

軍工級焊接工藝，真空腔體密封性強，高密度等離子源，全方位均勻清洗

SPV-200真空等離子清洗機

可定制流水線自動化方案，低氣體用量，穩(wěn)定性強，減少人力及使用成本

SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機

國內(nèi)首臺800mm超長處理寬度，單位面積處理時間提升3倍

配件類型

晟鼎自主研發(fā)—國產(chǎn)中頻電源

頻率40KHz,功率2000W

晟鼎專屬定制—國產(chǎn)射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~1000W

美國CERES—進口射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可選

進口中頻電源

頻率40KHz，功率2000W

橫電極腔體

應用于芯片、攝像頭模組、PCB/FPC、晶圓等產(chǎn)品表面處理

豎電極腔體

應用于LED行業(yè)，適用于各種類型產(chǎn)品治具或結(jié)構(gòu)

泵組

油泵

羅茨泵

干泵

射頻電源	功率：0~600W 頻率：13.56MHz
中頻電源	功率：0~2000W 頻率：40KHz