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首頁(yè)/產(chǎn)品中心/真空等離子清洗機(jī)/SPV-200

SPV-200在線式真空等離子清洗機(jī)

SPV-200在線式真空等離子清洗機(jī)

SPV-200真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品對(duì)比

下載

產(chǎn)品手冊(cè).pdf 下載

產(chǎn)品特點(diǎn)

軍工級(jí)的焊接工藝，腔體密封性強(qiáng)，高密度等離子源，保證全方位均勻清洗；
一鍵啟動(dòng)，精確控制試驗(yàn)時(shí)間、真空度、功率等重要參數(shù)；
45℃超低清洗溫度，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果；
雙路或多路工藝氣體，氣體控制穩(wěn)定；
單次可處理多片/批次材料，更可根據(jù)材料、產(chǎn)能進(jìn)行定制；
易操作及維護(hù)，全程工藝可控，可在線設(shè)置、修改、監(jiān)控各種工藝參數(shù)；
根據(jù)各行業(yè)客戶需求，定制化氣體配方及自動(dòng)化方案；

產(chǎn)品概述
規(guī)格參數(shù)
硬件選配

外觀參數(shù)

外形尺寸	105017001050mm（寬高深）
重量	800KG
設(shè)備外觀顏色	銀灰色

電源系統(tǒng)

射頻電源	功率：0~1000W 頻率：13.56MHz
中頻電源	功率：0~2000W 頻率：40KHz

真空系統(tǒng)

腔體內(nèi)部尺寸	600600600mm（寬高深）
厚度	25mm
材質(zhì)	鋁合金（可定制不銹鋼腔體）
密封性	軍工級(jí)焊接密封
電極板有效尺寸	472451mm（寬深）
可用空間間距	34mm
工作空間	8層
工作托盤(pán)	標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)）
電極板布置方式	水平布置，可活動(dòng)抽取
泵組	羅茨泵+單級(jí)旋片泵
真空管路	全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管

氣體系統(tǒng)

流量范圍	0~300SCCM
工藝氣體氣路	標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃狻⑺姆迹?/span>

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制	PLC
交互方式	7寸觸控屏幕

配件類型

晟鼎自主研發(fā)—國(guó)產(chǎn)中頻電源

頻率40KHz,功率2000W

晟鼎專屬定制—國(guó)產(chǎn)射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~1000W

美國(guó)CERES—進(jìn)口射頻電源

頻率13.56MHz，功率0~600W或0~1000W可選

進(jìn)口中頻電源

頻率40KHz，功率2000W

橫電極腔體

應(yīng)用于芯片、攝像頭模組、PCB/FPC、晶圓等產(chǎn)品表面處理

豎電極腔體

應(yīng)用于LED行業(yè)，適用于各種類型產(chǎn)品治具或結(jié)構(gòu)

泵組

油泵

羅茨泵

干泵

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